Электронная книга
Электронная книгаХимические технологии в производстве микроэлектромеханических систем : учебное пособие для вузов
Аннотация
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве.
Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
Характеристики
|
Издано
|
Издательство «Лань» |
|
Формат(ы)
|
|
|
Возрастное ограничение
|
Нет |
|
Вид издания
|
Учебное издание |
Ознакомительный фрагмент
Открыть/скачать фрагмент
552,6 кб
Отзывы
